我国光刻机最高技术仍旧是上海微电子研究所的90nm工艺，它的SMEE200系列光刻机、300系列光刻机、500系列光刻机、600系列光刻机只能够达到90nm工艺水平。而像江苏无锡影幻半导体公司、合肥芯硕半导体公司都只能够拥有200nm工艺的光刻机量产能力。
根据公开报道，上海先胜业财科技公司在2020年初完成了由源码资本领投的1.5亿人民币B轮融资，据此推测该公司的估值应该是在5-10亿元人民币左右。
但是具体的估值仍需要根据多方面的细节信息进行研究和计算，不能准确给出数字。
此外，上海先胜业财科技公司在金融行业中拥有领先优势和市场地位，未来有望继续快速发展，引起更多投资者的关注，估值也会有所变化。
1. 中微半导体设备（上海）有限公司：该公司成立于2008年，专业从事半导体设备研发、生产和销售，其主要产品包括光刻机、湿法处理设备等。
2. 昂纳微电子（上海）有限公司：该公司成立于1999年，同样专业从事半导体设备研发、生产和销售，主要产品包括光刻机、薄膜沉积设备、等离子刻蚀设备等。
3. 上海微电子设备（集团）有限公司：这是中国最早的半导体设备制造企业之一，成立于1988年，主要产品包括光刻机、湿法处理设备、等离子刻蚀设备等。
4. 上海磐石光刻设备有限公司：这是一家新兴的光刻机制造企业，成立于2012年，主要产品包括接触式光刻机、投影式光刻机等。
需要注意的是，这些公司并没有明确标示他们是否属于“上海光刻机集团公司”，因此我们只能推断这可能是上海光刻机集团的部分组成公司。